Le microscope électronique à émission

SOMMAIRE. — Les conditions de fonclionnement des objectifs à immersion étant mal connues,

nous avons entrepris une étude expérimentale approfondie de l’objectif «classique » à électrodes

planes utilisé en microscopie électronique à émission avec des courants très faibles. Après avoir

recherché l'influence des divers paramètres géométriques sur la distance focale image et le

champ électrostatique E, régnant sur la cathode dans les condilions de mise au point, nous

avons déterminé les conditions de fonctionnement optimum, qui fixent la valeur maximum de E, dans ce type d'objectif et, par suile, son pouvoir séparateur limite.

Des objectifs nouveaux, dont l’un au moins s’est montré très supérieur à l'objectif classique, ont été expérimentés dans le but d'obtenir, à tension de fonctionnement égale, un champ E, beaucoup plus fort.

Enfin, nous avons mis au point une méthode de calcul complèle fournissant avec une bonne précision — el sans intégration numérique — la répartition de potentiel sur l'axe et les éléments cardinaux des systèmes à électrodes planes. Nous avons réalisé une application à un cas particulier, et confronté les résultats avec l'expérience.

Tous nos résultats peuvent s'étendre aux canons à électrodes planes où n’interviennent pas les perturbations dues à la charge d'espace.