‹ Le microscope électronique à émissionChapitre 16 sur 39 · QUELQUES NOUVEAUX OBJECTIFS · texte numérisé non relu

QUELQUES NOUVEAUX OBJECTIFS

Nous venons de voir que dans l'objectif classique à électrodes planes le champ E,, exprimé en volts

ee

par centimètre, ne pourrait Jamais dépasser, dans les conditions de mise au point, la valeur

E5 = 1 V/cm SALON POS VE Ne

Pour accroître le pouvoir séparateur microscope à émission, deux solutions sont alors à envisager :

— Utiliser un objectif classique et essayer de faire coïncider le pouvoir séparateur pratique et le pouvoir séparateur théorique. Cette solution nécessite de longs efforts pour éliminer toutes les causes résiduelles d’aberrations;

— Ou bien abaisser le pouvoir séparateur théorique en révisant la conception de l'objectif luimême, afin d’avoir, pour une même tension de fonctionnement V, un champ Æ, beaucoup plus fort.

Adoptant la deuxième solution, nous avons envisagé successivement deux types nouveaux d'objectifs, l’un à électrodes planes, l’autre à électrodes sphériques.

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