‹ Recherches Sur La Luminosité, Le Contraste Et La Résolution De Systèmes Interférentiels À Ondes Multiples. Utilisation Des Couches Minces ComplexesChapitre 21 sur 44 · F7 ES · texte numérisé non relu

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‘Fig. 17. — Loi théorique de variation du facteur de réflexion en fonction de l’épaisseur pour une couche mince d'indice 2, 3.

pour né —)/h4, puis on revient à un maximum égal au facteur de réflexion initial du verre lorsque l’épaisseur optique de la couche est À/2, etc... La loi de variation de R en fonction de ne est pratiquement sinusoïdale.

Pour un corps d'indice supérieur à 1,5, le facteur de réflexion augmente d’abord, passe par un maximum pour ne—)/4 et passe par un minimum égal au facteur de réflexion initial du verre nu pour une épaisseur optique de 1/2, etc... La loi de variation de Ren fonction de ne s’écarte d'autant plus de la sinusoïde que n est plus élevé ; pour les faibles valeurs de n, c’est-à dire, les faibles valeurs des facteurs de réflexion à chaque intersurface, on n’a pratiquement à considérer pour le calcul de R que les deux premiers rayons réfléchis, d’où la loi sinusoïdale. Pour SZn avec n— 2,3 l'écart est encore assez faible, comme le montre la courbe tracée figure 17.

Afin d'augmenter la précision du contrôle des épaisseurs, il est bon de prendre les précautions suivantes :

a) On projette toujours au moins une épaisseur À/4 sur le verre témoin, ce qui permet de relever les déviations maximum et minimum du galvanomètre. On fait correspondre ces lectures à un maximum et un minimum de la courbe R—/(ne) relative au corps évaporé. Les repérages sont alors indépendants des éclairements parasites et, en particulier, l'obscurité n’est pas nécessaire dans la salle.

b) On termine toujours les lectures loin d’un maximum ou d’un minimum. Pour se trouver toujours dans ce cas favorable, plusieurs procédés sont applicables.

On peut placer le verre témoin à une distance du creuset différente de celle du verre à traiter. La loi de l’inverse-carré de la distance permet de calculer l'épaisseur à déposer sur le témoin pour obtenir l'épaisseur voulue sur le verre à traiter. Ce procédé n’est pas commode car il nécessite des modifications fréquentes des supports des verres à l’intérieur de la cloche à vide.

On peut encore choisir la longueur d'onde du faisceau monochromatique de contrôle, de façon à ne pas être au voisinage d’un maximum ou minimum de la courbe pour l'épaisseur ne prévue. En fait, il faut tenir compte de la dispersion des indices avec À et il est difficile d’utiliser cette méthode pour des mesures précises.

Enfin, et c’est le procédé que nous avons utilisé avec succès, un cache commandé de l'extérieur peut être manœuvré entre le creuset et les verres à recouvrir. Par exemple, si nous voulons déposer une épaisseur }/4 de SZn pour À —5 460 sur des lames d’étalon interférentiel, nous déposons d’abord À/8 environ sur le verre témoin, les lames étant cachées (arc AB de la courbe, fig. 17); nous démasquons alors les lames à recouvrir et poursuivons l’évaporation suivant la courbe BCD. Ainsi les lectures sont effectuées dans les régions B et D de la courbe R— /f{ne) qui permet d'obtenir la précision maximum.

S’il s’agit d’un métal, R tendra rapidement vers une valeur asymptotique et sa mesure ne permettra de repérer l'épaisseur avec précision que pour les très faibles valeurs de l’épaisseur. La mesure du facteur de transmission s'imposera de préférence à celle de R pour les couches épaisses (e au-dessus de 15 my. pour Ag par exemple).

-$ 2. Réalisation du poste d’évaporation pour couches multiples. — La géométrie du faisceau de contrôle dans le système de repérage des épaisseurs par mesure du facteur de réflexion ne laisse pas beaucoup de place pour le logement de plusieurs creusets contigus. Aussi a-t-on préféré la disposition des creusets sur une tourelle. La figure 18 représente l’ensemble du mécanisme placé dans la cloche à vide.

Les six creusets, Ci, C>, Cs, etc. sont disposés sur l'étoile à six branches formées par les pièces À, isolées les unes des autres au

mica et servant d'amenées du courant. Deux balais frottent sur la partie centrale qui joue le rôle de collecteur. Chacun des creusets C peut être amené dans sa position de travail (C;) au moyen d’un train

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